I. Produktübersicht
Diese kryogene Teststation (optional: hohe Temperatur, niedrige Temperatur, Vakuum, Magnetfeld) ist eine hochpräzise, multifunktionale Experimentalplattform zum Testen der elektrischen und magnetischen Eigenschaften von Halbleitermaterialien, Mikro-Nano-Geräten, magnetischen Materialien, spintronischen Geräten und verwandten technischen Bereichen.
II. Kernfunktionen
1. Hochpräzise Experimentierplattform: Die Prüfstation verfügt über einen Prüfarm mit hochpräziser Verschiebung, mit dem winzige Proben präzise bedient und getestet werden können.
2. Multifunktionskonfiguration: Je nach Benutzerbedarf können Hochtemperatur-, Niedertemperatur-, Vakuum-, Magnetfeld- und andere Konfigurationen ausgewählt werden, um den Anforderungen verschiedener komplexer Versuchsumgebungen gerecht zu werden.
3. Hochstabiles Magnetfeld: Durch ein sorgfältig entwickeltes Magnetfeldsystem in Kombination mit einer hochpräzisen bipolaren Konstantstromversorgung wird die hohe Stabilität des Magnetfelds gewährleistet.
4. Design des Verschiebungstisches: Der Verschiebungstisch ist mit einer magnetischen Flüssigkeitsdichtung ausgestattet, um eine zweidimensionale Bewegung und eine 360- Grad-Drehung des Probentisches in horizontaler Richtung zu erreichen, und die Bedienung ist flexibel und bequem.
5. Mikroskopische Beobachtung: Ausgestattet mit einem hochpräzisen Elektronenmikroskop können Benutzer winzige Proben bequem im Detail beobachten und bearbeiten.
Anwendungsgebiete
Diese Prüfstation wird häufig in den Bereichen Halbleiterindustrie, mikroelektromechanische Systeme, Supraleitung, Elektronik, Ferroelektronik, Physik, Materialwissenschaft und Biomedizin eingesetzt, unter anderem in:
Magnetischer Leistungstest
Mikrowellen-Leistungstest
DC-, HF-Leistungstest
MEMS-Leistungstest
Supraleitender Leistungstest
Photoelektrischer Leistungstest von Nanoschaltkreisen, Quantenpunkten und Drähten
Chiptest in Hoch- und Niedertemperatur-Vakuumumgebung
Materialprüfung
Hall-Test
Leistungstest für elektromagnetischen Transport usw.
Ⅳ. Optionales Zubehör
Um den Anforderungen verschiedener Benutzer gerecht zu werden, bieten wir eine Reihe optionalen Zubehörs an, darunter:
Verschiedene DC-Sonden, Hochfrequenz-Sonden, aktive Sonden
Kabelgebundenes CCD- oder C-MOS-Videobildgerät
Saugnapf-Bewegungsvorrichtung Elektromagnetsystem/supraleitendes Magnetsystem
Upgrade des 1-MPa-Überdrucksystems
Upgrade-Option für Ultrahochtemperatur
Upgrade-Option für Ultrahochvakuum
Verschiedene Sondenhalterungen
Abgeschirmter Antivibrationstisch
Adapter
Leise Vakuumpumpe usw.
Parameter
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Hoch- und Niedertemperatur-Vakuum-Magnetfeldsondenstation |
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Modell |
DXTPS1 |
DXTPS2 |
DXTPS3 (Englisch) |
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Vakuumgrad |
Maximales Vakuum 10-8Pa |
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Hohlraummaterial |
Nicht magnetischer Edelstahl oder Aluminiumlegierung |
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Magnetfeldbereich |
2000Gs bei 50 mm |
5000Gs bei 50 mm |
1T @ 50 mm |
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Magnetische Feldrichtung |
horizontal (kann in vertikaler Richtung nach Benutzeranforderungen gestaltet werden) |
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Stromversorgung |
Bipolare Stromversorgung ± 50A |
Bipolare Stromversorgung ± 70A |
Bipolare Stromversorgung ± 90A |
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Stabilität der Stromversorgung |
50 ppm optional 10 ppm |
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Kühlbetrieb |
Kühlung mit flüssigem Helium/flüssigem Stickstoff/Kühlschrank mit geschlossenem Kreislauf |
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Temperaturbereich |
5 K-325K optional 500K |
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Temperaturbereich |
65 K-325K optional 600K |
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Temperaturregelungsauflösung |
0.001K Temperaturregler bezogen |
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Temperaturstabilität |
besser als 0,1K je nach Temperaturregler |
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Temperatursensor |
Siliziumdiode/PT 100 |
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Sensoren |
Ein Probentisch, ein Strahlungsschirm und ein Probenarm. |
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Beispieltabellengröße (max.) |
Φ50mm, Ebenheit kleiner oder gleich u7m |
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Beispiel einer Tischbefestigungsmethode |
Vakuum-Silikonfett-/Federpressen |
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Beispieltischmaterial |
vergoldetes sauerstofffreies Kupfer |
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Mikroskop Reisen |
X-, Y-Ebene 2 x 2 Zoll, Genauigkeit 1 µm, Z-Achsen-Verfahrweg größer oder gleich 50,8 mm |
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Vergrößerung |
16 ~ 100X/20 ~ 4000X |
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Größe des Beobachtungsfensters der Vakuumkammer |
1 Zoll |
1,5 Zoll |
2 Zoll |
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Fenstermaterialien |
Quarzglas (optional K9, Calciumfluorid usw.) |
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Anzahl Tastarme |
2% 2C 4% 2C 6% 2C 8 Fakultativ |
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Tastarmweg |
25 mm-25mm-12mm auswechselbar |
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Mechanische Genauigkeit |
10µm/ 2µm/ 1µm/ 0,7µm |
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Schnittstellenformular |
Gewöhnliche Vakuumverbindung/drei Koaxialverbindungen/BNC/SMA usw. |
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Sondendurchmesser |
0,51 mm |
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Durchmesser der Nadelspitze |
10 um/ 5 um/ 1 um optional |
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Sondenmaterial |
Wolfram/GGB |
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Versorgungsspannung |
Wechselstrom 220 V, 50 Hz/60 Hz |
Wechselstrom 380 V, 50 Hz/60 Hz |
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Parameterbestätigung vor dem Kauf:
Die maximale Zollanzahl der zu testenden Wafer oder Geräte; ob Fragmente oder einzelne Chips getestet werden müssen; die kleinste Einzelchipgröße;
Wie hoch sind die Anforderungen an die mechanische Präzision der Messstation?
Die Elektrodengröße der Punktmessprobe: 100 μm x 100 μm oder 60 μm x 60 μm Pad oder das von FIB hergestellte Mini-Pad oder die Metallschaltung im IC;
Für eine Punktmessung werden maximal mehrere Sonden gleichzeitig benötigt;
Ob der Probecard-Test verwendet wird;
Wie hoch ist die erforderliche Mindestauflösung des optischen Mikroskops?
Ist es im Hinblick auf die Mikroskopie notwendig, einen Polarisator für die Hotspot-Erkennung von LC-Flüssigkristallen hinzuzufügen?
Ob der Strombedarf während des Probe-Spot-Tests 100fa oder weniger erreicht! Muss die niedrige Kapazitätsanforderung 0,1pf betragen? Ob eine Hochfrequenzanforderung besteht;
Welche Schnittstellen sind beim angeschlossenen Prüfgerät vorhanden?
Ob beim Testen der Umgebung Heizung oder Kühlung erforderlich ist! Ob ein geschlossener Hohlraum erforderlich ist;
Was ist mit den Leckageanforderungen von Chuck? Müssen Sie einen Chuck mit niedriger Impedanz hinzufügen?
Ob ein Anti-Schock-Tisch erforderlich ist;
Wenn Sie einen stoßfesten Tisch hinzufügen, achten Sie darauf, ob Druckluft vorhanden ist.
Weitere Bilder der kryogenen Sondenstation




Liefern, Versenden und Servieren
Wir sind uns der Schlüsselrolle der Logistik bei der Steigerung des Einkaufserlebnisses bewusst und haben uns daher dazu verpflichtet, effiziente, sichere und zuverlässige Logistik- und Transportnetzwerke zu entwickeln, die auf Sie zugeschnitten sind. Wir haben langfristige und leistungsstarke Partnerschaften mit vielen namhaften Logistikanbietern aufgebaut, um sicherzustellen, dass Ihre Produkte rechtzeitig und sicher an ihrem Bestimmungsort ankommen. Darüber hinaus bieten wir einen umfassenden Tracking-Service, damit Sie den Transportstatus des Produkts nachvollziehen können. Unsere Kunden stehen bei uns an erster Stelle, wir sind ständig bestrebt, die Servicequalität zu verbessern und Ihnen ein hervorragendes Einkaufserlebnis zu bieten.



Häufig gestellte Fragen
Frage 1: Welche Eigenschaften besitzen Hoch- und Niedertemperatur-Vakuumsonden im Hinblick auf Mikrobeobachtungs- und Bildgebungsfunktionen?
Antwort:
1. Hohe Auflösung: Der Prüftisch ist mit einem hochauflösenden Mikroskopsystem ausgestattet, mit dem das Aussehen und die Struktur der Oberfläche der Probe in Echtzeit beobachtet werden können. Dies ist für die Erscheinungsmerkmale, die Defektanalyse und die Materialdarstellung von Forschungsgeräten von entscheidender Bedeutung.
2. Bildgebungsfunktionen: Mikroskopsysteme verfügen normalerweise über verschiedene Bildgebungsmodi, z. B. optische Bildgebung, elektronische Bildgebung usw., um verschiedenen Proben und experimentellen Anforderungen gerecht zu werden. Diese Bildgebungsmuster können umfassende Bildinformationen liefern und Forschern helfen, die Beschaffenheit der Probe zu verstehen.
Frage 2: Welche Funktionen hat die Datenerfassungs- und Analysesoftware in Hoch- und Niedertemperatur-Vakuumsonden?
Antwort:
1. Echtzeiterfassung: Der Prüftisch muss mit fortschrittlicher Datenerfassungs- und Analysesoftware ausgestattet sein, um eine Echtzeiterfassung von elektrischen, Mikro- und Materialanalysedaten zu erreichen.
2. Verarbeitung und Analyse: Datenerfassungssoftware verfügt normalerweise über mehrere Datenverarbeitungs- und Analysefunktionen, wie z. B. Bildverarbeitung, Datenanpassung und dreidimensionale Rekonstruktion.
Frage 3: Welche Eigenschaften haben Hoch- und Niedertemperatur-Vakuumsonden im Hinblick auf Mikrobeobachtungs- und Bildgebungsfunktionen?
Antwort:
Hohe Auflösung: Der Prüftisch ist mit einem hochauflösenden Mikroskopsystem ausgestattet, mit dem das Aussehen und die Struktur der Oberfläche der Probe in Echtzeit beobachtet werden können. Dies ist für die Aussehensmerkmale, die Defektanalyse und die Materialdarstellung von Forschungsgeräten von entscheidender Bedeutung.
Bildgebungsfunktionen: Mikroskopsysteme verfügen normalerweise über verschiedene Bildgebungsmodi, z. B. optische Bildgebung, elektronische Bildgebung usw., um unterschiedlichen Proben und experimentellen Anforderungen gerecht zu werden.












